Поверка преобразователей давления малогабаритных Корунд

Назначение: для преобразования разностного и избыточного давления жидких и газообразных сред, неагрессивных к материалам контактирующих деталей (титановые сплавы), в информативный параметр выходного сигнала в виде постоянного тока в системах автоматического управления, контроля и регулирования производственными процессами в различных отраслях народного хозяйства.

Взамен № 14446-00. Заменен в 2009 г. на 14446-09

Поверка преобразователей давления малогабаритных Корунд

Работа преобразователей основана на использовании тензоэффекта в структурах «кремний на сапфире». Измеряемое давление действует на титановую мембрану, на внутренней стороне которого напаяна сапфировая подложка с эпитаксиальными кремниевыми резисторами.

Преобразователи состоят из первичного преобразователя, воспринимающего измеряемое давление и преобразующего его в выходной сигнал разбаланса тензометрического моста, и электронного преобразователя, питающего тензомост и греобразующего выходной сигнал тензомоста в унифицированный выходной электрический сигнал постоянного тока.

Преобразователи представляют собой единую конструкцию (первичный преобразователь соединенный с электронным преобразователем).

Преобразователи подсоединяются к рабочей магистрали при помощи штуиера. Измеряемое давление через штуцер подается в рабочую полость и воздействует на металлическую мембрану, на внешней поверхности которой жестко закреплен полупроводниковый чувствительный элемент. данный элемент представляет собой монокристаллическую сапфировую подложку, на поверхности которой сформированы гегероэпитаксиальные кремниевые резисторы, соединенные в тензочувствительную мостовую схему; выводы от схемы соединены с контактами выходного разъема. В кожухе, герметично соединенном со штуцером и закрытым верхней крышкой, находится плата электронного преобразователя с потенциометрами для корректировки «нуля» и «диапазона». На верхней крышке установлен разъем для подсоединения ответной части с проводами линии связи.