Назначение: для измерений абсолютного давления (вакуума) негорючих газов.
Модификации: MTH10D, MTM9D и MTP4D.
Конструктивно вакуумметр выполнен в виде единого корпуса в котором расположены измерительный преобразователь и измерительный электронный блок. Так же вакуумметр оснащен встроенным дисплеем для отображения значения измеряемого давления.
Измерительный преобразователь оснащён датчиком Пирани. Принцип действия датчика основан на зависимости теплопроводности разряженного газа от давления. При изменении давления в вакуумной системе изменяется теплопроводность газовой среды, что приводит к изменению температуры нити накала измерительного преобразователя. Нить накала является плечом измерительной мостовой схемы. Изменение сопротивления этого плеча, вызванное изменением его температуры, приводит к разбалансу моста. При этом возникает электрический сигнал напряжения, пропорциональный давлению, который поступает на вход измерительного электронного блока.
В зависимости от модификации вакуумметр может быть оснащён дополнительным измерительным преобразователем для увеличения диапазона измерений. Вакуумметр модификации MTH10D оснащён дополнительно измерительным преобразователем с горячим катодом (типа Байард-Альперт). Вакуумметр модификации MTM9D оснащён дополнительно измерительным преобразователем с холодным катодом (обращённый магнетрон).
Для снятия аналогового сигнала и подключения к вспомогательной аппаратуре вакуумметры оснащены интерфейсом RS-485.
Поверка осуществляется по документу МИ 140-89 «Рекомендация. ГСИ. Вакуумметры. Методика поверки».
Знак поверки наносится на корпус вакуумметра в виде наклейки или в свидетельство о поверке в виде оттиска клейма.
Наименование параметра или характеристики | Значение характеристики | ||
MTH10D | MTM9D | MTP4D | |
Диапазон измерений абсолютного давления, мбар | от 1000 до 510-10 | от 1000 до 5 10-9 | от 1000 до 210-3 |
Пределы допускаемой основной относительной погрешности, %:
— в диапазоне от 1000 до 10 включ. мбар |
±30 | ±30 | — |
— в диапазоне от 1000 до 20 включ. мбар | — | — | ±30 |
— в диапазоне св. 10 до 210 включ. мбар | — | ±10 | — |
— в диапазоне св. 20 до 210 включ. мбар | — | — | ±10 |
3 8
— в диапазоне св. 210 до 110 включ. мбар |
— | ±25 | — |
— в диапазоне св. 10 до 110 включ. мбар | ±25 | — | — |
8 9
— в диапазоне св. 110 до 5 10 мбар |
— | ±40 | — |
8 10 — в диапазоне св. 110 до 5 10 мбар | ±40 | — | — |
Максимальное допустимое давление, бар | 4 | 4 | 4 |
Среднее квадратическое отклонение результатов измерений, %, не более:
— в диапазоне от 10 до 110 включ. мбар |
2 | 2 | — |
2 9
— в диапазоне св. 110 до 5-10 мбар |
— | 7 | — |
2 8 — в диапазоне св. 110 до 110 мбар | 5 | — | — |
— в диапазоне от 20 до 110 мбар | — | — | 2 |
Время отклика, мс, не более | 200 | 200 | 100 |
Г абаритные размеры вакуумметра (длина х ширина х высота), мм, не более | 141x69x48 | 139x69x48 | 109x69x48 |
Масса вакуумметра, г, не более | 555 | 555 | 190 |
Напряжение питания постоянного тока, В | от 20 до 30 | от 20 до 30 | от 20 до 30 |
Потребляемая мощность, Вт, не более | 10 | 4 | 3,5 |
Возможные фланцы подключения | KF40
CF40 |
KF25
CF40 |
KF16
CF16 |
Рабочие условия эксплуатации:
— температура окружающего воздуха, °С — относительная влажность воздуха при температуре + 25 °С, % — атмосферное давление, кПа (мм рт. ст.) |
от + 10 до + 40
от 30 до 80 от 96 до 104,7 (от 720 до 780) |